sputtering hollow cathode discharge
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- 释义
溅射型空心阴极放电
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1、
本文采用空心阴极空心阳极结构，用热阴极电子发射弧放电驱动并用磁场约束产生等离子体，用曲面发射引出离子束，研制成了氩气放电溅射离子源；
来源：互联网摘选
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